近日，我校光电工程学院高炬教授团队的成果“微纳MEMS氢气传感器件”获得2022年度山东省循环经济科学技术奖（技术发明奖）一等奖并被评为山东省循环经济协会2022年度十大创新成果。该成果由枣庄学院牵头，苏州科技大学参与完成。

该氢气传感器成果是基于先进的氧化物敏感材料与纳米科技，采用新型多孔膜沉积工艺与纳米团簇嵌入技术，实现了超敏与超快的氢探测响应，各方面特性都优越于目前市场上传统的氢传感器，填补了我国在微纳氢传感器件方面的空白。这些微纳氢传感器件采用硅基MEMS微加工工艺制造，有利于与微电子线路高度集成，实现物联化与智能化处理，适合规模化生产，是推广氢能源应用的关键核心技术。